洁净室半导体设备安装如何控制尘埃粒子引入？

上海笙电电力科技有限公司2025-03-03

洁净室中，控制尘埃粒子引入至关重要。设备入场前，需在洁净过渡区对其外包装进行清洁，去除表面灰尘，采用无尘擦拭布、真空吸尘器，防止包装带入尘埃。安装时，工具提前清洁、存放于洁净柜，人员穿戴全套无尘服、手套、口罩，经风淋室除尘后进入。设备搬运路线提前规划，地面铺设防尘地垫，减少搬运过程扬尘。如光刻设备安装，微小尘埃都可能使芯片光刻图案缺陷，全方面防控确保洁净室内尘埃粒子数达标，保障芯片生产质量。我们笙电电力科技提供电力设备及机电设备、化工管道的安装、调试、维修及保养，如有疑问可放心咨询，我司可提供周到的解决方案，满足客户不同的服务需要！