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　3)采用同程式布置，每一环路管路的长度大致相等，各机组(④机组还是工艺设备？)的水阻力大致相等，因此各机组的流量大致等于设计流量，系统水力平衡性较好。 　　(3)系统管道材质要求相对较高，这一点同系统对水质要求相关，采用不锈钢材质的管道，即能有效避免在管网输水工程中管道对水质产生的影响，又能满足系统长期运行的需要，若采用一般空调水所使用的碳钢钢管，长时间运行，管道很容易锈蚀，造成水质污染，根据其他类似电子厂房设计经验，采用普通不锈钢管是比较经济的选择。据工艺用超纯水设计经验，在水的电阻率高于1MΩ·cm时，就不宜采用普通不锈钢管，(⑤我记得医药项目5MΩ·cm的纯水系统也有用304不锈钢管的？)此时不锈钢管与纯水之间的过氧化作用会产生锈蚀的***腐蚀效应，除污染水质外，也可造成管道的泄露，本冷却水系统水质要求不及工艺用超纯水的严格，故无须考虑此影响。 　　(4)系统自动化程度高，对控制要求较高，主要包括对供水水温、供水压力以及水泵的运行控制。对水温的控制，要保证系统提供可靠的20℃的冷却水；对供水压力的控制，要保证系统能够提供稳定可靠的动力源；朝阳区不锈钢pcw水箱

2．4 热交换器的选型问题 　　目前市场上，热交换器种类繁多，按其形式可分管壳式，板式，板翅式，热管式等。本系统综合考虑下，选用板式热交换器，相比较而言，板式热交换器具有占地面积小，传热面积大的优点，考虑到半导体厂房空间面积造价特点，推荐占地面积小的设备，节约用地面积，节省了工程造价。选型要满足设计流量下的热交换量，并且在比较大流量及压力时不能产生变形或振动，并符合一侧无压力时仍可承受比较大操作压力。 2．5 冷媒选择及防结露保温问题 　　本系统冷媒来自于冷冻站13~18℃冷机冷冻水系统，不同于目前一般工业循环水系统通常采用冷却塔冷却后水作为热质交换的冷源形式。主要考虑系统对水温的要求较低，同时综合考虑了整个厂房系统的设计(冷冻水使用点除作为空调水使用外，还有诸如超纯水制备等系统冷源)，整个系统除净房空间外都需要防结露保温措施，保温材料采用当前普遍采用的橡塑保温棉，保温材料的厚度要根据计算确定，切不可凭经验，导致出现偏薄不满足要求而结露或过厚浪费的情况。淮北不锈钢生活水箱

供水压力控制 　　对系统供水进行控制，使其维持在一定压力**现在对二次水泵控制方式上。本系统二次泵采用变频调速控制，即通过系统供水压力来调节变频器频率。本系统设定供水压力值为0.5MPa。压力传感器0~10V信号对应变频器的30~40Hz。当系统压力低于0.5MPa时,变频器频率升高，以使系统维持0.5MPa的供水压力。当系统压力高于0.5MPa时，变频器频率降低。同时压力传感器控制水泵出口端回水电动阀的启闭，当压力大于设定值(0.5MPa)时，电动阀打开，以防止系统压力过高，对后续管路尤其是工艺设备产生影响。 　　结语：国内大型半导体厂房建设，多由国外或台资公司总包，工艺设计也多由日本公司或台资公司完成，工艺冷却水作为支持半导体关键性一环，其设计关乎整个厂房系统工艺设备能否正常运行，本文也只是粗浅地谈谈关乎系统设计的相关问题，当然还有一些设计细节需要在今后的设计项目中不断完善。

2．1 二次泵系统中水箱(缓冲水槽)平衡问题 　　二次泵系统中水箱平衡问题即高温水箱和低温水箱之间的水平衡问题，本系统水箱平衡除考虑两水箱的容积和连通管的设置，还要考虑一次侧环路和二次侧环路水泵的选型，两水箱的容积对于循环水泵的吸水段起到系统缓冲作用，两水箱连通管的设置既要能保证两水箱间在用水差异时的平衡，又要能保证高温水箱中的水不会过多流入低温水箱，否则低温水箱冷却水水温将很难得到保证，在水泵选型上，除要考虑一次侧环路和二次侧环路水泵的流量一致性，还要考虑两环路循环水泵的不同控制方式，在运行方式上，一次侧环路可以采用定流量控制，而二次侧环路可采用变流量控制。这样的控制方式既能有助于系统运行的稳定性，又有助于系统的节能。

自控系统的设计要求 　　本系统PLC模块自控系统的设置，既保证了系统能在正常情况下自动运行，对系统的运行稳定性，整个系统的节能，起到了关键性的作用。 　　(1) 供水水温的控制 　　根据工艺设备对供水温度的需求，本系统对供水温度要求控制在20℃，供水温度通过安装在输水管道上温度传感器采集，传输到PLC运算控制模块，控制冷冻水侧电动阀开启度调节冷冻水侧流量，从而控制板换冷量交换，使冷却水达到20℃的设计目标要求。(⑦工艺水的水温依赖的是低温水箱内的水温，低温水箱水温的影响因素包括一次侧跟冷冻水换热后的进水，也包括高温水箱流入低温水箱的水温影响，也包括环境温度，水箱容积也对水温调节的灵敏产生影响,二次侧水泵的变流量运行也对水温有影响) 　　(2)供水电导率的控制 　　控制供水电导率其实是间接反映对供水水质的控制，系统高温水箱补水采用RO水及超纯水，电阻率高于1.0KΩ·CM。当安装在高温水箱中的电导率测试仪检测到电导率不满足设定要求时，系统会将此信号传到PLC控制模块，PLC经运算控制超纯水补水管路上电动阀开启度确定补水量。另外为防止水箱中水与大气直接接触，影响水的电导率，采用氮封保护水质。(⑧高低温水池里面设置氮封了？压力多大广元地埋消防水箱

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